下载一种低污染环保型化学机械抛光液的技术资料

文档序号:20939693

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本发明公开了一种低污染环保型化学机械抛光液,由以下质量份数的原料制成:四硼酸钠11‑15份,异丙醇3‑6份,氮化硼6‑7份,苯甲酸钠5‑7份,氧化铈12‑18份,氢氧化铝1‑4份,硬脂酰胺6‑9份,磷酸二铵5‑7份,三聚磷酸钠3‑4份,液态...
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