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本发明提供一种能检测出经加工对象物反射的激光的返回光入射至激光光源的激光加工装置。本发明的激光加工装置包括：激光光源(10)，输出加工用激光(L1)；检查用光源(20)，输出波长与加工用激光(L1)不同的检查用激光(L2)；光波导(60)，...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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