下载一种基于多层堆叠结构基底的柔性神经电极及制造方法的技术资料

文档序号:20935864

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本发明公开了一种基于多层堆叠结构基底的柔性神经电极,包括导电部及与导电部相连的基底,其特征在于,所述基底为杨氏模量不同的至少两层聚合物按照类三明治结构堆叠而成。本发明还公开了所述柔性神经电极的制造方法,通过MEMS工艺加工所述基底的各层聚合...
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