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一种电容式柔性压力传感器，该电容式柔性压力传感器包括聚合物弹性体电极、绝缘层薄膜以及ITO电极；所述聚合物弹性体电极包括导电薄膜、聚合物弹性体和电极衬底，所述聚合物弹性体包括形成在所述电极衬底上的具有微结构凸起阵列的微结构层，所述导电薄膜覆...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。

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