A capacitive flexible pressure sensor comprises a polymer elastomer electrode, an insulating layer film and an ITO electrode; the polymer elastomer electrode comprises a conductive film, a polymer elastomer and an electrode substrate; the polymer elastomer comprises a microstructural layer with a microstructural bump array formed on the electrode substrate, and the conductive thin layer. The insulating layer film is placed between the polymer elastomer electrode and the ITO electrode, and contacts the top of the microstructural protrusion of the microstructural layer through the conductive film. The utility model provides a capacitive flexible pressure sensor with high sensitivity and good device stability.
【技术实现步骤摘要】
一种电容式柔性压力传感器
本技术涉及压力传感器
，特别涉及一种电容式柔性压力传感器。
技术介绍
柔性电子作为新兴
，曾被评选为“世界十大科技成果之一”。在工业4.0与中国制造2025时代下，万物互联，感知信息的范围、精度、场景、稳定性性和性能参数的期望逐渐提高，传统的硅基电子器件很难满足社会需求。此外人类与其他生物本身为柔性体，更适合柔性器件，也是柔性电子驱动的要素之一。所谓的柔性电子，即将有机/无机薄膜电子器件加工制造在柔性塑料衬底或金属薄膜/玻璃基板的电子技术。在适当的拉伸、延展、自由弯曲甚至折叠状态下，仍可正常工作实现对信息的准确测量。柔性电子技术在诸多领域，如柔性传感、柔性显示与照明、医疗健康、可穿戴设备、人机交互、能量储存等领域均有广泛的应用。压力传感器依其工作原理，可以分为电容式、压阻式和压电式等。电容式压力传感器结构简单，分辨率高，在高温、辐射等恶劣的环境下适应速度快。它不仅应用于位移、振动、角速度、加速度等一些机械物理量的测量，而且还广泛应用于压力、差压力、液体压强、成分的含量等热工程参数的测量。但目前，电容式压力传感器仍然存在着一些问...
【技术保护点】
1.一种电容式柔性压力传感器，其特征在于，包括聚合物弹性体电极、绝缘层薄膜以及ITO电极；所述聚合物弹性体电极包括导电薄膜、聚合物弹性体和电极衬底，所述聚合物弹性体包括形成在所述电极衬底上的具有微结构凸起阵列的微结构层，所述导电薄膜覆盖在所述微结构层的表面；所述绝缘层薄膜置于所述聚合物弹性体电极和所述ITO电极之间，并通过所述导电薄膜与所述微结构层的微结构凸起的顶部接触。
【技术特征摘要】
1.一种电容式柔性压力传感器，其特征在于，包括聚合物弹性体电极、绝缘层薄膜以及ITO电极；所述聚合物弹性体电极包括导电薄膜、聚合物弹性体和电极衬底，所述聚合物弹性体包括形成在所述电极衬底上的具有微结构凸起阵列的微结构层，所述导电薄膜覆盖在所述微结构层的表面；所述绝缘层薄膜置于所述聚合物弹性体电极和所述ITO电极之间，并通过所述导电薄膜与所述微结构层的微结构凸起的顶部接触。2.如权利要求1所述的电容式柔性压力传感器，其特征在于，所述微结构凸起包括锥形、截顶锥形、圆台形和半球形中的至少一种。3.如权利要求2所述的电容式柔性压力传感器，其特征在于，所述锥形包括圆锥形或棱锥形，所述截顶锥形包括截顶圆锥形或截顶棱锥形，所述锥形或所述截顶锥形的锥度在30°-90°之间。4.如权利要求2至3任一所述的电容式柔性压力传感器，其特征在于，所述微...
【专利技术属性】
技术研发人员：张旻，李萌萌，王旭东，
申请(专利权)人：清华大学深圳研究生院，
类型：新型
国别省市：广东,44
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