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公开了制造沉积掩模的方法，所述方法包括分束过程、扫描过程和调整过程，其中，在分束过程中，将从光源照射的激光束分束为多个激光束；在扫描过程中，将多个激光束同时扫描到掩模基板上；在调整过程中，在扫描多个激光束的同时，将多个激光束的照射状态精细地...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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