A method for manufacturing deposition mask is disclosed, which includes beam splitting process, scanning process and adjustment process. In beam splitting process, a laser beam irradiated from a light source is divided into multiple laser beams; in the scanning process, multiple laser beams are scanned onto the mask substrate at the same time; and in the adjustment process, the irradiation shape of multiple laser beams is scanned while multiple laser beams are scanned. The state is refined to correspond to the shape of multiple pattern holes.
【技术实现步骤摘要】
沉积掩模制造方法相关申请的交叉引用本申请要求于2017年10月11日提交的第10-2017-0131642号韩国专利申请的优先权和权益，出于如本文中完全阐述的所有目的，所述韩国专利申请通过引用并入本文中。
本专利技术的示例性实施方式大体涉及制造沉积掩模的方法，所述方法包括形成用于沉积的掩模的图案孔的改进过程，并且更具体地，涉及用于制造沉积掩模的装置。
技术介绍
通常，有机发光显示设备基于这样的原理实现颜色：从阳极和阴极注入的空穴和电子在发射层中复合，以及像素具有发射层位于作为阳极的像素电极与作为阴极的相对电极之间的结构。每个像素可以是例如红色像素、绿色像素和蓝色像素中的任何一个的子像素，并且由于上述三种像素的颜色组合，可产生期望的颜色。即，每个子像素具有发射层位于两个电极之间的结构，发射层发射红色、绿色和蓝色中的任何一种的光。由于三种颜色的光的组合，产生一个单位像素的颜色。上述有机发光显示设备的电极、发射层等可通过沉积形成。即，具有图案孔的掩模可定位在基板上，所述掩模具有与将形成的薄膜相同的图案，以及薄膜的原材料通过掩模中的图案孔沉积在基板上，从而形成具有期望图案...
【技术保护点】
1.制造沉积掩模的方法，所述方法包括：将掩模基板设置在平台上；以及将激光束照射到所述掩模基板上，以形成多个图案孔，其中，将所述激光束照射到所述掩模基板上包括：从光源照射所述激光束；将所照射的激光束分束成多个激光束；将所述多个激光束同时扫描到所述掩模基板上；以及在扫描所述多个激光束的同时，调整所述多个激光束的照射状态以与所述多个图案孔的形状对应。
【技术特征摘要】
2017.10.11 KR 10-2017-01316421.制造沉积掩模的方法，所述方法包括：将掩模基板设置在平台上；以及将激光束照射到所述掩模基板上，以形成多个图案孔，其中，将所述激光束照射到所述掩模基板上包括：从光源照射所述激光束；将所照射的激光束分束成多个激光束；将所述多个激光束同时扫描到所述掩模基板上；以及在扫描所述多个激光束的同时，调整所述多个激光束的照射状态以与所述多个图案孔的形状对应。2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述调整包括：调节所述多个激光束的运动路径以允许所述多个激光束环绕所述多个图案孔的区域。3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述调整还包括：调节所述激光束在所述多个图案孔的所述区域内照射的次数。4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述调整还包括：调节所述激光束在所述多个图案孔的所述区域内的功率。5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述扫描被执行为通过...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴泽溢，韩圭完，金元容，明承镐，朴宰奭，亚历山大·沃罗诺夫，全镇弘，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR
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