下载发光二极管的外延片及其制作方法的技术资料

文档序号:20923195

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本发明公开了一种发光二极管的外延片及其制作方法,属于光电子制造技术领域。该外延片包括衬底和依次形成在衬底上的缓冲层、u型GaN层、布拉格反射层、n型GaN层、n型AlGaN层、应力释放层、发光层和p型层,布拉格反射层包括交替层叠的多层AlN...
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