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本发明提供了一种低寄生电阻的肖特基二极管,属于半导体器件技术领域,包括金属阳极、金属阴极、N型半导体沟道和半导体重掺杂区,金属阳极与N型半导体沟道连接,形成肖特基结;金属阴极与半导体重掺杂区连接,形成欧姆接触;N型半导体沟道具有半导体重掺杂...该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。
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本发明提供了一种低寄生电阻的肖特基二极管,属于半导体器件技术领域,包括金属阳极、金属阴极、N型半导体沟道和半导体重掺杂区,金属阳极与N型半导体沟道连接,形成肖特基结;金属阴极与半导体重掺杂区连接,形成欧姆接触;N型半导体沟道具有半导体重掺杂...