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本发明涉及一种闪存控制栅极板间电容的晶圆允收测试图形,涉及半导体集成电路,通过将控制栅极板设计为U形控制栅,同一行的每个漏区或同一行的每个源区两侧的控制栅连接在一起实现等电位;通过将第一金属线单元与第一焊盘设计为U形结构,将第二金属线单元与...该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种闪存控制栅极板间电容的晶圆允收测试图形,涉及半导体集成电路,通过将控制栅极板设计为U形控制栅,同一行的每个漏区或同一行的每个源区两侧的控制栅连接在一起实现等电位;通过将第一金属线单元与第一焊盘设计为U形结构,将第二金属线单元与...