下载石英晶片的清洗方法及清洗装置的技术资料

文档序号:20919025

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本发明涉及石英晶片加工领域,具体公开了一种石英晶片的清洗方法以及适用于该方法的清洗装置,其中,上述清洗方法具体包括:先将石英晶片通过排片工序安装到镀膜夹具中后,再将镀膜夹具放入清洗液中进行清洗;上述适用于上述的清洗方法清洗装置包括一上开口的...
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