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本实用新型提供一种基片传输系统，包括：承载装置，用于在进行工艺时承载基片；顶针装置，用于在对基片进行取放时承载基片；升降装置，用于驱动承载装置或者顶针装置上升或下降，以能够在承载装置与顶针装置之间传递基片；机械手，能够通过作水平运动和升降运...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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