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本实用新型公开了一种管式PECVD炉TMA供气系统，其包括依次连接的氮气源、送气管路、TMA瓶、送液管路、液体流量计（LFM01）、蒸发器（CEM）、工艺气体输出管路，所述氮气源与蒸发器之间还串接混气管路和第一质量流量计（FMC01），所述...
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