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本发明涉及一种定位装置,包括支撑机构、固定机构、导向机构、驱动机构、第一预载机构及第二预载机构;所述固定机构收容于所述支撑机构中并通过导向机构与所述支撑机构滑动连接;所述驱动机构固定连接于所述支撑机构上用于带动所述固定机构在所述导向机构上往...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种定位装置,包括支撑机构、固定机构、导向机构、驱动机构、第一预载机构及第二预载机构;所述固定机构收容于所述支撑机构中并通过导向机构与所述支撑机构滑动连接;所述驱动机构固定连接于所述支撑机构上用于带动所述固定机构在所述导向机构上往...