下载飞秒激光在线刻写光栅阵列及准分布式多参量测量的方法的技术资料

文档序号:20913359

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本发明设计了一种飞秒激光在线刻写光栅阵列及准分布式多参量测量的方法,基于相位掩模法,通过飞秒激光在线刻写光栅阵列。光栅刻写后通过特种涂覆设备,在线封装成准分布式多参量测量的传感器阵列。光栅表面部分区域可以涂覆金属涂层或者其他耐高温涂层、功能...
该专利属于武汉理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过武汉理工大学授权不得商用。

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