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本发明实施例提供的一种刻蚀后硅片边缘电阻的测试方法及装置，该方法通过在刻蚀后硅片的前表面的测试点输入预设电信号，并在背离前表面的背表面的测试点获取输出的电信号，以根据预设电信号和输出的电信号，计算出刻蚀后硅片的边缘电阻。本发明实施例提供的一...该专利属于盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。