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本发明涉及一种非接触式样品加工表面倾角及厚度微小变化测量方法，该方法具体为：在样品加工前后，控制两束具有相同角度及高度的激光对称入射至样品加工表面，并反射至PSD(position sensitive detector)传感器光敏层，随着样...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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