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一种硅片清洗机制造技术
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下载一种硅片清洗机的技术资料
文档序号:20907515
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本实用新型公开了一种硅片清洗机,包括机架,所述机架上依次设置有多个清洗槽,清洗槽被隔板和过滤网分隔为清洗室和进料室,所述进料室上设置有进料口,清洗室通过排料口与下一级清洗槽的清洗室连通,本实用新型使用时清洗室内清洗液的上层清液通过排料口进入...
该专利属于四川晶美硅业科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川晶美硅业科技有限公司授权不得商用。
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