温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型中公开了一种多晶硅还原炉底盘清扫器，包括密封罩，所述密封罩为开口朝下的腔体结构，所述密封罩内在顶部设置有多个吹扫气喷嘴，所述吹扫气喷嘴的开口朝下设置，所述密封罩在侧壁上设置有排气孔，所述密封罩开口一端上设置有密封机构，所述密封罩通...
该专利属于亚洲硅业（青海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚洲硅业（青海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。