下载一种双巨压阻传感器的技术资料

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本实用新型公开了一种双巨压阻传感器,包括高压量程和低压量程的巨压阻压力传感器;所述的高压量程巨压阻压力传感器为硅钛异质结压力传感器;所述的硅钛异质结压力传感器自下而上依次是蓝宝石基底层、真空腔体、敏感器件层A、绝缘二氧化硅层和弯曲拉伸的硅应...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。

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