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具有过孔的换能器封装制造技术
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下载具有过孔的换能器封装的技术资料
文档序号:20887733
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一种麦克风包括被配置为感测声信号的微机电系统(MEMS)管芯、基底和盖。所述基底具有顶面和底面。所述底面包括第一电焊盘和第二电焊盘。所述第一电焊盘和所述第二电焊盘被配置为传输指示所述声信号的电信号。所述盖具有顶面和底面。所述盖包括围绕所述M...
该专利属于美商楼氏电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美商楼氏电子有限公司授权不得商用。
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