下载通过暴露于紫外线能量制造相关电子材料膜的技术资料

文档序号:20884062

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本文公开的主题可涉及用于例如执行切换功能的相关电子材料的制造。在实施例中,描述了其中在制造相关电子材料期间使用紫外光源的工艺。在实施例中,使用紫外光可以降低基板的原子和/或分子组分扩散的可能性,这可能导致CEM器件的不期望的电性能。...
该专利属于ARM有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ARM有限公司授权不得商用。

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