下载基板处理装置的技术资料

文档序号:20883169

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一种基板处理装置可包括:第一盘,其设置在腔室中并且被配置为执行转动运动,第一盘包括周期性地布置在距中心轴的特定半径内的多个座孔;多个第二盘,其分别设置在座孔中并且被配置为根据第一盘的转动运动进行绕转及旋转运动;第一旋转连接器结构,其设置在第...
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