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带有辅助加热气体喷流的低温等离子体探针制造技术
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下载带有辅助加热气体喷流的低温等离子体探针的技术资料
文档序号:20883132
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本发明公开了一种低温等离子体探针和质谱系统以及使用低温等离子体探针的方法。在一种实施方式中,该低温等离子体探针包括一个进气毛细管,提供从样品表面到质谱仪的离子流;至少一个低温等离子体管,提供低温等离子体气体;至少一个加热气体管,向样品表面提...
该专利属于史密斯探测公司所有,仅供学习研究参考,未经过史密斯探测公司授权不得商用。
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