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具有膜片的微机械构件、用于这种构件的制造方法和用于运行压力传感器的方法技术
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下载具有膜片的微机械构件、用于这种构件的制造方法和用于运行压力传感器的方法的技术资料
文档序号:20879201
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本发明涉及一种微机械构件,该微机械构件具有带着撑开的膜片(12)的保持装置(10),该膜片能够借助第一膜片侧(12a)和第二膜片侧(12b)之间的压力差逆着按照所述膜片(12)的膜片弹簧常数产生的膜片反力(Fm)扭曲,并且具有与膜片(12)...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。
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