具有膜片的微机械构件、用于这种构件的制造方法和用于运行压力传感器的方法技术

本发明专利技术涉及一种微机械构件，该微机械构件具有带着撑开的膜片(12)的保持装置(10)，该膜片能够借助第一膜片侧(12a)和第二膜片侧(12b)之间的压力差逆着按照所述膜片(12)的膜片弹簧常数产生的膜片反力(Fm)扭曲，并且具有与膜片(12)连接的至少一个致动器电极(18)，该致动器电极能够借助膜片(12)的扭曲逆着按照至少一个弹簧(20)的至少一个弹簧常数产生的弹簧力移位，其中，总系统弹簧常数能够限定为所述膜片(12)的膜片弹簧常数和唯一一个弹簧的弹簧常数或所有弹簧(20)的总弹簧常数的和，通过所述弹簧使所述至少一个致动器电极(18)与所述保持装置(10)连接，并且其中，唯一一个弹簧的弹簧常数和所有弹簧(20)的总弹簧常数为总系统弹簧常数的至少5％。本发明专利技术同样涉及一种用于微机械构件的制造方法和一种用于运行压力传感器的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有膜片的微机械构件、用于这种构件的制造方法和用于运行压力传感器的方法
本专利技术涉及一种微机械构件、一种麦克风和一种压力传感器。本专利技术同样涉及用于微机械构件的制造方法。此外，本专利技术涉及一种用于运动压力传感器的方法。
技术介绍
在DE102014200500A1中描述了微机械压力传感器设备和用于制造这种微机械压力传感器设备的制造方法。微机械压力传感器设备具有带着结构化穿过晶片的开口的晶片，该开口借助撑开的膜片这样遮盖，使得膜片可以借助晶片的前侧和晶片的后侧之间的压力差扭曲。此外，至少一个致动器电极这样与膜片连接并且附加地通过弹簧装置这样与晶片连接，使得所述至少一个致动器电极可以借助膜片的扭曲逆着弹簧装置的弹簧力偏移。弹簧装置相对软地构造并且尤其允许所述至少一个致动器电极的垂直于晶片的平面的偏移。
技术实现思路
本专利技术实现具有权利要求1的特征的微机械构件、具有权利要求9的特征的麦克风、具有权利要求10的特征的压力传感器、具有权利要求12的特征的用于微机械构件的制造方法和具有权利要求13的特征的用于运行压力传感器的方法。本专利技术实现借助(由膜片、至少一个致动器电极和至少一个弹簧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.微机械构件，具有：保持装置(10)，该保持装置具有撑开的膜片(12)，该膜片在作用在所述膜片(12)的第一膜片侧(12a)上的压力和作用在所述膜片(12)的第二膜片侧(12b)上的压力相等时以该膜片的初始形状存在并且能够借助所述第一膜片侧(12a)和所述第二膜片侧(12b)之间的压力差从该膜片的初始形状逆着按照所述膜片(12)的膜片弹簧常数产生的膜片反力(Fm)扭曲；和与所述膜片(12)连接的至少一个致动器电极(18)，该致动器电极通过至少一个弹簧(20)与所述保持装置(10)这样连接，使得所述至少一个致动器电极(18)能够借助所述膜片(12)的扭曲从该致动器电极的相应初始位置逆着按照所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.29 DE 102016216229.21.微机械构件，具有：保持装置(10)，该保持装置具有撑开的膜片(12)，该膜片在作用在所述膜片(12)的第一膜片侧(12a)上的压力和作用在所述膜片(12)的第二膜片侧(12b)上的压力相等时以该膜片的初始形状存在并且能够借助所述第一膜片侧(12a)和所述第二膜片侧(12b)之间的压力差从该膜片的初始形状逆着按照所述膜片(12)的膜片弹簧常数产生的膜片反力(Fm)扭曲；和与所述膜片(12)连接的至少一个致动器电极(18)，该致动器电极通过至少一个弹簧(20)与所述保持装置(10)这样连接，使得所述至少一个致动器电极(18)能够借助所述膜片(12)的扭曲从该致动器电极的相应初始位置逆着按照所述至少一个弹簧(20)的至少一个弹簧常数产生的弹簧力(Fs)移位；其中，总系统弹簧常数能够限定为所述膜片(12)的所述膜片弹簧常数和唯一一个弹簧的弹簧常数或所有弹簧(20)的总弹簧常数的和，通过所述弹簧使所述至少一个致动器电极(18)与所述保持装置(10)连接，其特征在于，所述唯一一个弹簧的所述弹簧常数或所有弹簧(20)的所述总弹簧常数为所述总系统弹簧常数的至少5％，通过所述弹簧使所述至少一个致动器电极(18)与所述保持装置(10)连接。2.根据权利要求1所述的微机械构件，其中，唯一一个弹簧的所述弹簧常数或者所有弹簧(20)的所述总弹簧常数为所述总系统弹簧常数的至少50％，通过所述弹簧使所述至少一个致动器电极(18)与所述保持装置(10)连接。3.根据权利要求1或2所述的微机械构件，其中，所述至少一个致动器电极(18)能够借助所述膜片(12)的扭曲从该致动器电极的相应初始位置沿着和/或平行于与所述膜片(12)垂直相交的轴线(22)逆着按照所述至少一个弹簧(20)的所述至少一个弹簧常数产生的所述弹簧力(Fs)移位。4.根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述至少一个弹簧(20)是至少一个U形的弹簧(20)和/或至少一个曲折形的弹簧，通过所述弹簧使所述至少一个致动器电极(18)与所述保持装置(10)连接。5.根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件，其中，所述至少一个致动器电极(28)通过作为所述至少一个弹簧(20)的刚好四个弹簧(20)与所述保持装置(10)连接。6.根据权利要求5所述的微机械构件，其中，所述刚好四个弹簧(20)关于第一对称平面(30)并且关于垂直于所述第一对称平面(30)定向的第二对称平面(32)镜像对称地构造。7.根据权利要求1至4中任一项所述的微机械构件，其中，所述至少一个致动器电极通过作为所述至少一个弹簧(20)的刚好三个弹簧与所述保持装置(10)连接。8.根据权利要求7所述的微机械构件，其中，所述刚好三个弹簧以相对彼此旋转120°的方式旋转对称地构造。9.麦克风，具有根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件。10.压力传感器，具有根据权利要求1至8中任一项所述的微机械构件。11.根据权利要求10所述的压力传感器，其中，所述压力传感器具有至少一个定子电极(22a、22b)，该定子电极这样布置在所述保持装置(10)上和/或相对于所述保持装置(10)布置，使得在所述膜片(12)扭曲时阻止所述至...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·赖因穆特，H·格鲁茨埃克，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE