下载基于高配比抛光液的LED用蓝宝石晶片数控抛光方法的技术资料

文档序号:20873005

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本发明公开了基于高配比抛光液的LED用蓝宝石晶片数控抛光方法,包括以下步骤:1)配置高配比抛光液,作为抛光液新料;2)采用循环抛光对蓝宝石晶片表面进行研磨抛光;3)将一次循环研磨抛光产生的剩余抛光液回收处理,作为抛光液旧料;4)在下次循环研...
该专利属于云南蓝晶科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南蓝晶科技有限公司授权不得商用。

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