下载一种选择性发射极的制备方法、选择性发射极电池的制备方法的技术资料

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本发明公开了一种选择性发射极和选择性发射极电池的制备方法,该选择性发射极的制备方法包括以下步骤:将掩膜板覆盖在制绒后的硅片上,送入到扩散炉中进行高掺杂深扩散和低掺杂浅扩散,在硅片电极区域和非电极区域分别形成高掺杂深扩散区和低掺杂浅扩散区,退...
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