下载薄膜晶体管以及制备方法的技术资料

文档序号:20872283

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本发明公开了一种薄膜晶体管以及制备方法,该薄膜晶体管包括:基板;形成在基板上的栅极层、第一绝缘层和有源层;形成在有源层上的图案化的源极和漏极,分别与有源层电连接;形成在图案化的源极和漏极上的有机钝化层,有机钝化层与有源层直接接触;有源层包括...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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