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深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
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显示面板的制造方法技术
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文档序号:20872187
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本发明公开一种显示面板的制造方法,通过设置钛层在半导体氧化物层上作为蚀刻阻挡层,并且在蚀刻后再通过离子布植将氧离子掺杂到钛层中,以使位在半导体氧化物层上的钛层形成电性绝缘的二氧化钛层,进而形成多个薄膜晶体管。...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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