下载一种用于清洗晶圆的产品及其去应力加工方法的技术资料

文档序号:20872021

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本发明提供的一种用于清洗12寸晶圆的产品,包括产品体,所述的产品体上设置有加工面和安装面;所述的加工面位于所述的工装体的一侧,凹陷在所述的工装体的一侧表面上;所述的安装面位于所述的产品体的另一侧,凹陷在所述的产品体的一侧表面上。本发明提供的...
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