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一种用于微纳加工的二维超声振动平台，包括矩形环状基体，矩形框基体中空部分的中心位置设置有运动平台，矩形框基体的四个边框的内侧边对应运动平台分别设置有一个压电陶瓷驱动器，每一个压电陶瓷驱动器与运动平台之间都设置有一个由横观各向同性材料构成的解...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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