下载通过共振耦合实现电磁场增强的纳米结构及其制造方法的技术资料

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通过共振耦合实现电磁场增强的纳米结构,包括基底,在基底上设置有纳米光栅,在基底和纳米光栅上沉积有金属层,进而形成纳米缝隙,所述纳米光栅的周期为400nm~1000nm,光栅高度100nm~400nm,两条相邻光栅间的狭缝宽度为4nm~40n...
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