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本实用新型涉及基板处理装置，用于进行基板研磨工序，其包括：研磨单元：研磨基板表面；基板移送部：在基板的研磨开始时间点与研磨结束时间点之间移送基板。从而，可以简化基板处理工序，并缩短处理时间。...
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