下载一种多层界面涂层及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:20854518

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本发明涉及一种多层界面涂层及其制备方法和应用,所述多层界面涂层包括依次交替形成在所述基底表面的SiBN涂层和Si3N4涂层,所述SiBN涂层的层数n≥1,优选为2~5。...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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