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本发明的一种链式扩散系统，包括依次连接的上料单元、喷涂单元、扩散单元、冷却单元和收料单元；所述扩散单元包括扩散腔体；硅片由所述上料单元传送至所述喷涂单元，再依次经过喷涂单元、扩散单元和冷却单元，最后达到收料单元；所述扩散腔体内设置有用以传送...
该专利属于杭州海莱德智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州海莱德智能科技有限公司授权不得商用。

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