一种链式扩散系统技术方案

本发明专利技术的一种链式扩散系统，包括依次连接的上料单元、喷涂单元、扩散单元、冷却单元和收料单元；所述扩散单元包括扩散腔体；硅片由所述上料单元传送至所述喷涂单元，再依次经过喷涂单元、扩散单元和冷却单元，最后达到收料单元；所述扩散腔体内设置有用以传送硅片的传送装置和用于对所述传送装置上的硅片进行高温加热的第一加热装置，所述第一加热装置设置在所述传送装置的上方。本发明专利技术链式扩散系统通过平铺式的多点支撑传动方式，在相同的条件下，可延长硅片表面加热时间和温度，推进掺杂结深，从而提高硅片表面的掺杂质量，提高电池的光电转换效率，适应大尺寸硅片和超薄硅片，降低自动化传输技术难度，满足行业产业化需求。

【技术实现步骤摘要】
一种链式扩散系统
本专利技术涉及光伏设备领域，更具体地说，涉及一种链式扩散系统。
技术介绍
太阳能电池片领域中的扩散工序，多采用的是管式扩散系统，该方法具有单管单控、操作灵活等特点，是目前行业的主导技术。伴随着光伏技术的不断进步，硅片尺寸的不断增加，管式扩散系统的石英管管径从180mm发展到目前的330mm，长度从1600mm加长至2600mm。高效电池工艺对掺杂品质的要求越来越高，通过增大管径适应硅片尺寸、增长石英管长度适应行业对产能需求的技术手段所带来的弊端越来越明显。首先是管径增大，温场的截面均匀性变差，从而影响片内掺杂均匀性；立式倾角装载硅片方式，当硅片很薄以后会弯曲、翘曲，从而影响掺杂源的分布均匀性，继面影响片内、片间的掺杂均匀性，同时该方式承载硅片对自动化提出了更高的要求，在产能、碎片率等方面都会遇到无法突破的技术瓶颈。目前行业内存在的平面扩散系统采用金属网带传送方式，该系统由于存在金属污染、无法长时间高温处理掺杂过程，从而造成硅片表面掺杂质量较差而未被行业所认可。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种链式扩散系统，通过平铺式的多点支撑传动方式，在相同的条件下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种链式扩散系统，其特征在于，包括依次连接的上料单元、喷涂单元、扩散单元、冷却单元和收料单元；硅片由所述上料单元传送至所述喷涂单元，再依次经过喷涂单元、扩散单元和冷却单元，最后达到收料单元；所述喷涂单元用以在硅片表面均匀涂抹一层掺杂源，所述扩散单元用以对涂抹后的硅片进行高温加热处理，所述冷却单元用以对高温加热扩散后的硅片进行降温处理；所述扩散单元包括扩散腔体，所述扩散腔体内设置有用以传送硅片的传送装置和用于对所述传送装置上的硅片进行高温加热的第一加热装置，所述第一加热装置设置在所述传送装置的上方。

【技术特征摘要】
1.一种链式扩散系统，其特征在于，包括依次连接的上料单元、喷涂单元、扩散单元、冷却单元和收料单元；硅片由所述上料单元传送至所述喷涂单元，再依次经过喷涂单元、扩散单元和冷却单元，最后达到收料单元；所述喷涂单元用以在硅片表面均匀涂抹一层掺杂源，所述扩散单元用以对涂抹后的硅片进行高温加热处理，所述冷却单元用以对高温加热扩散后的硅片进行降温处理；所述扩散单元包括扩散腔体，所述扩散腔体内设置有用以传送硅片的传送装置和用于对所述传送装置上的硅片进行高温加热的第一加热装置，所述第一加热装置设置在所述传送装置的上方。2.如权利要求1所述的链式扩散系统，其特征在于，所述传送装置由多组滚轮构成，滚轮通过转动以传送硅片在所述扩散腔体内运动。3.如权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何振杰，
申请(专利权)人：杭州海莱德智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33