下载薄膜晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:20848265

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本发明涉及液晶显示领域,公开了一种薄膜晶体管的制造方法,所述方法包括以下步骤:形成栅极;形成覆盖栅极的栅极绝缘层;在栅极绝缘层上形成半导体层;在半导体层上依次形成氧化物导体层和源漏金属层;对所述源漏金属层进行图案化形成源极和漏极;对所述氧化...
该专利属于南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京中电熊猫平板显示科技有限公司;南京中电熊猫液晶显示科技有限公司;南京华东电子信息科技股份有限公司授权不得商用。

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