下载主动开关及其制作方法、显示装置的技术资料

文档序号:20848139

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本申请涉及一种主动开关及其制作方法、显示装置,该主动开关的制作方法包括:提供一基板,并在所述基板上形成第一金属层,并对所述第一金属层进行图案化处理,形成栅极;在所述栅极上依次形成栅极绝缘层、有源层、掺杂层和源漏极;其中,采用两次湿法刻蚀工艺...
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