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主动开关及其制作方法、显示装置制造方法及图纸
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下载主动开关及其制作方法、显示装置的技术资料
文档序号:20848139
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本申请涉及一种主动开关及其制作方法、显示装置,该主动开关的制作方法包括:提供一基板,并在所述基板上形成第一金属层,并对所述第一金属层进行图案化处理,形成栅极;在所述栅极上依次形成栅极绝缘层、有源层、掺杂层和源漏极;其中,采用两次湿法刻蚀工艺...
该专利属于惠科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠科股份有限公司授权不得商用。
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