下载阵列基板的制作方法及阵列基板的技术资料

文档序号:20848051

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本发明提供一种阵列基板的制作方法及阵列基板。所述阵列基板的制作方法先在衬底基板上形成透明导电薄膜和覆盖所述透明导电薄膜的金属薄膜,并通过一道光罩图案化所述透明导电薄膜和金属薄膜,形成由透明导电薄膜和金属薄膜形成的栅极和由透明导电薄膜形成的阵...
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