温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种垂直腔面发射激光器阵列模块的生产方法，在目标晶圆衬底上外延生长p‑n结量子发光薄膜层；外延生长第一层分布式布拉格反射光栅；在硅晶圆衬底上制作具有脉冲宽度调制的有源矩阵控制电路；将量子发光外延片粘合在有源矩阵显示控制电路上；衬...
该专利属于矽照光电（厦门）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过矽照光电（厦门）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。