温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种TFT阵列基板及其制作方法与OLED显示面板。本发明的TFT阵列基板的制作方法分别采用一道光罩制作有源图案,栅极,第一电极,层间绝缘层、栅极绝缘层上的过孔、开口,源极、漏极,平坦化层上的开口,以及隔垫物,所需光罩数量少,工艺简...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种TFT阵列基板及其制作方法与OLED显示面板。本发明的TFT阵列基板的制作方法分别采用一道光罩制作有源图案,栅极,第一电极,层间绝缘层、栅极绝缘层上的过孔、开口,源极、漏极,平坦化层上的开口,以及隔垫物,所需光罩数量少,工艺简...