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一种去除附着于高致密氧化钇涂层表面的二氧化硅薄膜的清洗方法，包括以下步骤：将料板浸入装有纯水的预处理容器中，预浸1‑5min；将预处理后的料板置入第一处理容器中处理1‑5min，第一处理容器中装有氢氟酸和硝酸的混合溶液，按重量比硝酸与氢氟酸...
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