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本发明实施例提供一种有图形晶圆及掩模版的缺陷检测方法及装置，该方法包括：获取待检测的器件的图像数据，器件包括有图形晶圆或掩模版，图像数据用于反映器件的光照区域的电磁场分布情况；将图像数据输入至与器件对应的缺陷检测模型，输出与器件对应的缺陷检...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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