专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
大连理工大学
>
一种电致化学抛光装置及其工作方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载一种电致化学抛光装置及其工作方法的技术资料
文档序号:20813310
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种电致化学抛光装置及其工作方法,所述的装置包括隔振光学平台、线型滑台、电极系统、基准平晶、真空陶瓷吸盘、调平基板、微分测头和压电陶瓷偏转台。本发明采用粗调和精调相结合,调平精度高、范围大,可以对不同厚度的材料进行抛光;本发明使...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。