下载用于RF加热系统中的解冻操作的设备和方法的技术资料

文档序号:20802992

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本公开涉及用于RF加热系统中的解冻操作的设备和方法。提供一种用于解冻或加热的系统和方法。射频(RF)信号源通过传输路径将RF信号提供到接近于解冻系统的腔室的电极。确定沿所述传输路径的反射RF功率测量度与前向RF功率测量度的比率的变化率已经从...
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