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本发明公开了一种复合结构的微加热板及其制作方法。所述的制作方法包括：于一第一衬底的第二表面加工形成空腔结构；于一第二衬底表面依次生长形成隔热层和第一绝缘层；将所述第一绝缘层与所述第一衬底的第一表面键合，所述第一表面与第二表面相背对，之后去除...
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