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本发明实施例涉及一种单光子雪崩二极管图像传感器及其制造方法。所述SPAD图像传感器包含：衬底，其具有前表面及后表面；其中所述衬底包含感测区，且所述感测区包含：共同节点，其重度掺杂有第一导电类型的掺杂物，所述共同节点是在所述衬底内且毗连所述衬...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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