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本发明实施例公开一种单光子雪崩二极管SPAD图像传感器以及相关制造方法。所述SPAD图像传感器包含：衬底，其具有前表面及后表面；沟槽隔离，其在所述衬底中，所述沟槽隔离从所述衬底的所述前表面朝向所述衬底的所述后表面延伸，所述沟槽隔离具有第一表...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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