下载单管剥膜机及单管加工系统的技术资料

文档序号:20799438

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本发明涉及激光技术领域,尤其是涉及一种单管剥膜机及包括该单管剥膜机的单管加工系统。单管剥膜机包括晶圆环、定位机构和顶针机构,蓝膜位于晶圆环上,定位机构用于承载晶圆环并带动晶圆环在水平面内移动,以改变顶针机构与蓝膜上单管的相对位置。位置调整后...
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